17-06-2013, 01:25 PM
U ovom radu se istražuje induktivno vezana kisikova plazma (ICP1) pomoću optičke emisijske spektroskopije. Glavni cilj ovog rada je dobivanje informacija o samoj plazmi, kao i o procesima koji se u njoj odvijaju, iz analize spektara. Osim korištenja spektroskopskih metoda, u jednom dijelu rada korišten je i dodatni mjerni uređaj – katalitička sonda, za određivanje koncentracije kisikovih atoma.
Induktivno vezana plazma, te njena spektroskopska analiza pomoću spektrometra ima veliki broj trenutačnih, kao i potencijalnih primjena. Jedna od najvažnijih primjena induktivno vezane plazme je u procesu proizvodnje različitih elektroničkih komponenti (jetkanje plazmom i naparavanje pojačano plazmom) koje su nezamjenjive u ogromnom broju uređaja koji se danas nalaze u širokoj uporabi. Ovakva plazma se primjenjuje i u modifikaciji različitih materijala [1], kao i u modifikaciji površina (npr. poboljšavanje efikasnosti solarnih ćelija, ili u industriji papira [2]). Potencijalna primjena induktivno vezane plazme je nov način sterilizacije materijala i tkiva, odnosno vrlo učinkovito uništavanje bakterija plazmom [3].
Induktivno vezana plazma, te njena spektroskopska analiza pomoću spektrometra ima veliki broj trenutačnih, kao i potencijalnih primjena. Jedna od najvažnijih primjena induktivno vezane plazme je u procesu proizvodnje različitih elektroničkih komponenti (jetkanje plazmom i naparavanje pojačano plazmom) koje su nezamjenjive u ogromnom broju uređaja koji se danas nalaze u širokoj uporabi. Ovakva plazma se primjenjuje i u modifikaciji različitih materijala [1], kao i u modifikaciji površina (npr. poboljšavanje efikasnosti solarnih ćelija, ili u industriji papira [2]). Potencijalna primjena induktivno vezane plazme je nov način sterilizacije materijala i tkiva, odnosno vrlo učinkovito uništavanje bakterija plazmom [3].
Sadržaj
1. Uvod . . . . . . 2
2. Teorijske osnove . . . . 4
2.1. Plazma . . . . 4
2.2. Procesi u plazmi . . . . 5
2.3. Stvaranje plazme u laboratoriju . . . 11
2.4. Spektroskopska analiza plazme . . 12
2.5. Struktura i širenje spektralne linije . 14
2.6. Katalitička sonda . . . 17
3. Eksperimentalni postav . . . . . 19
4. Rezultati . . . . 30
4.1. Kisikova plazma . . . 30
4.2. Kisikova plazma na višim tlakovima . . 34
4.3. Kisikova plazma na nižim tlakovima . 37
4.4. Mjerenja katalitičkom sondom . . . 41
4.5. Određivanje temperature pobuđenja . . 43
4.6. Spektralna analiza uzduž cijevi . . . 45
5. Diskusija . . . . . . 51
6. Zaključak . . . . . . . 64
7. Literatura . . . . . . . 66